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高精度冷热循环半导体专用chiller
产品优势

水冷型:设备使用冷却水散热,降温速率快,噪音更低。 

风冷型:设备使用风机带走热量散热,无厂务水需求,可自由放置。 

智能PID算法,支持分段控温、自动演算、模糊控制等功能,控温精度高。 

制冷机系统使用热气旁通控温,系统载荷动态调节,节能高效。 

产品系列覆盖多温区,可匹配半导体行业不同工序。 

结构专项优化,振动低,噪音小。 

具备自动purge功能。 

针对冷却液管路工艺优化,泄露风险低。


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产品参数

【风冷型Chiller】
精密冷水机(+5℃~+40℃)

项目

单位

ACSM02AS-5

ACSM03AS-5

ACSM05AS-5

ACSM10AS-5

制冷量(10℃)

kW

5.4

8.7

13.7

30.2

压缩机功率

kW

1.6

2.3

3.1

6.3

循环泵功率

kW

0.4

0.4

0.6

0.8

风机功率

kW

0.3

0.5

1.2

2.4

总输入功率

kW

2.3

3.2

4.9

9.5

运行电流

A

5.0

6.8

11.9

21.3

供电电源


3PH~380V~50Hz(可定制220V)

循环介质


去离子水、氟化液等

温控精度

±0.1

额定流量

L/min

25

25

40

80

冷凝器型式


高效风冷式冷凝器

油箱容积

L

≥2

≥3

≥5

≥10

冷冻进出管径

Inch

1.0"

1.0"

1.2"

1.5"

冷媒


R410A

整机重量

kg

100.0

130.0

150.0

300.0

运行噪音@1m

dB(A)

≤70

外形(L*W*H)

cm

40*60*100

40*100*110

60*100*120

60*100*150

【水冷型Chiller】
精密冷水机(+5℃~+40℃)



项目

单位

ACSM02WS-5

ACSM03WS-5

ACSM05WS-5

ACSM10WS-5

制冷量(10℃)

kW

5.9

9.6

14.8

31.4

压缩机功率

kW

1.6

2.3

3.1

6.3

循环泵功率

kW

0.4

0.4

0.6

0.8

总输入功率

kW

2.0

2.7

3.7

7.1

运行电流

A

4.5

6.0

8.9

17.4

供电电源


3PH~380V~50Hz(可定制220V)

循环介质


去离子水、氟化液等

温控精度

±0.1

额定流量

L/min

25

25

40

80

压力范围

Bar

0.5~3.0

0.5~3.0

0.5~3.0

0.5~3.0

冷凝器型式


高效水冷式冷凝器

油箱容积

L

≥2

≥3

≥5

≥10

冷却水流量

m³/h

1.8

2.5

4.2

9.9

冷冻进出管径

Inch

1.0"

1.0"

1.2"

1.5"

冷却进出管径

Inch

1.0"

1.5"

冷媒


R410A

整机重量

kg

100.0

130.0

150.0

300.0

运行噪音@1m

dB(A)

≤65

外形(L*W*H)

cm

40*60*100

40*100*110

60*100*120

60*100*150


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