水冷型:设备使用冷却水散热,降温速率快,噪音更低。
风冷型:设备使用风机带走热量散热,无厂务水需求,可自由放置。
智能PID算法,支持分段控温、自动演算、模糊控制等功能,控温精度高。
制冷机系统使用热气旁通控温,系统载荷动态调节,节能高效。
产品系列覆盖多温区,可匹配半导体行业不同工序。
结构专项优化,振动低,噪音小。
具备自动purge功能。
针对冷却液管路工艺优化,泄露风险低。
【风冷型Chiller】 | |||||
项目 | 单位 | ACSM02AS-5 | ACSM03AS-5 | ACSM05AS-5 | ACSM10AS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.4 | 8.7 | 13.7 | 30.2 |
压缩机功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循环泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
风机功率 | kW | 0.3 | 0.5 | 1.2 | 2.4 |
总输入功率 | kW | 2.3 | 3.2 | 4.9 | 9.5 |
运行电流 | A | 5.0 | 6.8 | 11.9 | 21.3 |
供电电源 | 3PH~380V~50Hz(可定制220V) | ||||
循环介质 | 去离子水、氟化液等 | ||||
温控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
额定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
冷凝器型式 | 高效风冷式冷凝器 | ||||
油箱容积 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷冻进出管径 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷媒 | R410A | ||||
整机重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
运行噪音@1m | dB(A) | ≤70 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |
【水冷型Chiller】 | |||||
项目 | 单位 | ACSM02WS-5 | ACSM03WS-5 | ACSM05WS-5 | ACSM10WS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.9 | 9.6 | 14.8 | 31.4 |
压缩机功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循环泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
总输入功率 | kW | 2.0 | 2.7 | 3.7 | 7.1 |
运行电流 | A | 4.5 | 6.0 | 8.9 | 17.4 |
供电电源 | 3PH~380V~50Hz(可定制220V) | ||||
循环介质 | 去离子水、氟化液等 | ||||
温控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
额定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
压力范围 | Bar | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 |
冷凝器型式 | 高效水冷式冷凝器 | ||||
油箱容积 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷却水流量 | m³/h | 1.8 | 2.5 | 4.2 | 9.9 |
冷冻进出管径 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷却进出管径 | Inch | 1.0" | 1.5" | ||
冷媒 | R410A | ||||
整机重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
运行噪音@1m | dB(A) | ≤65 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |